使用气相沉积炉时需要特别注意哪些事项　　使用气相沉积炉时需要特别注意以下几点。大家一起看看吧。　　1、模具一般由用户自备，模具材料基本采用高纯石墨，其耐压极限为40MPa。建议用户在30MPa以下使用，加压前计算模具上、下冲头面积，换算成压力。具体公式如下：系统允许加压(吨)=上或下冲头面积30MPa　　2、热电偶为钨铼型，使用后变脆，不能接触。破损时请立即更换。其型号为W2型。　　3、冬季要注意气相沉积炉循环水的保温问题。否则容易发生自来水管破裂。　　4、使用后炉体应保持真空，炉内保温层容易受潮，保持真空下次抽真空会更快。　　5、设备复杂，建议专人使用，专人负责，严格对初学者进行使用前培训，有使用后检查、操作使用记录等设备使用规定。　　6、气相沉积炉也可作为真空烧结炉使用。用于真空烧结炉时，请注意在炉内放置坩埚后，合上保温板盖后，不要忘记合上其中的小盖。容易烧毁电炉。　　7、操作前观察窗玻璃清洁，清扫炉内壁，观察水压情况，观察炉内石墨有无损伤，开机后观察仪表显示是否正常，测试液压系统是否正常工作。　　8、气相沉积炉使用一年后，应将仪器送计量部门校准。

　　在使用真空甩带炉的时候，也会面临有些热处理工艺在真空炉上无法完成的问题，究其原因，大致有两个方面：一是真空炉生产厂家按照标准生产，虽然各项技术参数合格，但在生产的过程中没有***系统地去考虑热处理工艺问题，导致了炉子的参数和热处理工艺参数不匹配。二是真空热处理工艺过程存在缺陷，无法实现想要的结果。 　　所以真空甩带炉的一个关键问题，就是要有可靠的真空密封构造。为了保证真空炉的真空性能，炉体要采用气密焊接，同时在炉体上尽量少开或者不开孔，少采用或者避免采用动密封结构，以尽量减少真空泄露的机遇。安装在真空炉体上的部件、附件等如水冷电极、热电偶导出装置也都必须设计密封构造。 　　工作者对真空甩带炉做到更好的维护与保养,方法如下： 　　1、按照程序抽低真空：紧闭所有的真空阀门，启动机械泵，待其运行正常后(大约1-2 min)，打开通向炉体的低真空阀即上碟阀，预先对炉体抽低真空; 　　2、打开真空甩带炉下碟阀，对扩散泵进行抽气，当真空度达到15 Pa以下后，系统自动开启扩散泵进行预热，一般经过45 min左右扩散泵开始其作用，就可以关闭真空烧结炉上碟阀，同时开启主阻挡阀待真空度达到1.33×10Pa以上，才可以开启加热按钮对样品进行加热。