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真空烧结炉使用时遇到这三种情况应立刻采取应急措施
发布时间:2022-11-17   浏览:3231次

  真空烧结炉使用时遇到这三种情况应立刻采取应急措施

  真空烧结炉主要用于半导体元器材及电力整流器材的烧结工艺,可进行真空烧结,气体保护烧结及惯例烧结,是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备,它规划构思新颖,操作便利,结构紧凑,在一台设备上可完结多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理,真空钎焊等工艺。真空烧结炉使用时遇到这三种情况应立刻采取应急措施:

真空烧结炉

  一、停电

  1、停电时,假如断水,应立即接通备用的冷却水,接通水源。

  2、假如在非升温、加热和冷却时,能够赶快康复时,重新启动设备,继续运转如需求较长时刻,则将设备保持原状。

  3、假如正在加热和冷却时,能够赶快康复时,重新启动设备,假如需求较长时刻时,则保持原状,让设备自然冷却下来。

  二、加热电源掉电

  1、水压低,当水压低于0.15MPa,压力表报警。

  2、接地毛病。

  3、真空放电,水冷电极接头与加热器衔接处必须衔接牢固,与反射屏绝缘要好。

  4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源呈现毛病,掉电的原因能够以为因为电介质击穿而引起的放电。

  三、充气气体停止

  1、抽真空开端前,气体充入时刻长或者无法充入时,请承认气体管路是否被堵塞。

  2、如气体管路没问题,检查电磁阀及气体充气阀的动作,为了安全与其相关联的设备要悉数停止后再进行检查。

  3、向真空室内充气不能停止的情况下,泄压阀动作如泄压阀动作时,要封闭气体供应阀及配管在内的一切气体系统。

  4、承认气体充气配管是否有漏气的地方,如有会影响制品质量。


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